英寸晶圓橢偏儀 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 采購(gòu)項(xiàng)目名稱： 英寸晶圓橢偏儀 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： -光學(xué)測(cè)試儀器 采購(gòu)需求概況 ： 采購(gòu)標(biāo)的名稱：英寸晶圓橢偏儀。采購(gòu)標(biāo)的主要功能：檢測(cè)薄膜性質(zhì)。主要目標(biāo)：波長(zhǎng)范圍-；可采集個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)；配置自動(dòng)樣品臺(tái)和微光斑（）；最快掃描時(shí)間.單點(diǎn) 晶圓尺寸 。采購(gòu)數(shù)量：臺(tái) 。采購(gòu)標(biāo)的所需質(zhì)量：不同材料薄膜厚度檢測(cè)精度高、片間相同材料相同厚度薄膜檢測(cè)誤差%以內(nèi)、片內(nèi)檢測(cè)速度快。服務(wù)、安全、時(shí)限要求：提供設(shè)備驗(yàn)收合格后年質(zhì)保。提供符合現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況的設(shè)備安裝方案。設(shè)備訂單生成后年內(nèi)交貨安裝完成。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。