英寸晶圓快速退火爐 項目所在采購意向： 中國科學院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院微電子研究所 采購項目名稱： 英寸晶圓快速退火爐 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設備 采購需求概況 ： 采購標的名稱：英寸晶圓快速退火爐。采購標的主要功能：小尺寸 器件研制中需要對制備的器件進行高溫快速退火處理以提升器件的電學性能。主要目標： 溫度范圍-℃ ；配置兩句路氣體 （氮氣 氧氣）；支持真空及常壓模式；晶圓尺寸 。。采購數(shù)量：臺 。采購標的所需質量：退火過程中溫度設置值與實際值誤差在%以內(nèi)。服務、安全、時限要求：提供設備驗收合格后年質保。提供符合現(xiàn)場實際情況的設備安裝方案。設備訂單生成后年內(nèi)交貨安裝完成。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。