英寸晶圓 項目所在采購意向： 中國科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院微電子研究所 采購項目名稱： 英寸晶圓 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況 ： 采購標的名稱：英寸晶圓。采購標的主要功能：主要用于小尺寸 器件的及適配氧化物薄膜材料的生長。主要目標：薄膜片內(nèi)均勻性小于%；薄膜片間均勻性小于%；晶圓尺寸： 。采購數(shù)量：臺 。采購標的所需質(zhì)量：英寸片內(nèi)生長薄膜均一性、可靠性高，片間薄膜生長厚度重復(fù)性好。設(shè)備兼容熱法和射頻兩種模式生長。服務(wù)、安全、時限要求：提供設(shè)備驗收合格后年質(zhì)保。提供符合現(xiàn)場實際情況的設(shè)備安裝方案。設(shè)備訂單生成后年內(nèi)交貨安裝完成。 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準。