吋晶圓/芯片自動(dòng)光學(xué)檢測(cè) 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 采購(gòu)項(xiàng)目名稱： 吋晶圓/芯片自動(dòng)光學(xué)檢測(cè) 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： -光學(xué)測(cè)試儀器 采購(gòu)需求概況 ： ，開展芯片表面以及芯片貼裝的膜表面的顆粒沾污檢測(cè)，并嵌入至工藝流程的在線檢測(cè)步驟，實(shí)現(xiàn)存儲(chǔ)和邏輯芯片的界面無(wú)空洞鍵合和超高密互連。項(xiàng)目承擔(dān)單位目前無(wú)相關(guān)設(shè)備，急需該設(shè)備支撐項(xiàng)目研發(fā)。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。