原子層沉積設備 項目所在采購意向： 年月政府采購意向 采購單位： 采購項目名稱： 原子層沉積設備 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 電氣物理設備 采購需求概況 ： 采購標的物名稱：原子層沉積設備； 采購數(shù)量：臺； 采購標的物要求：主要用于致密、均勻、厚度原子層可控絕緣介質(zhì)層和導點層沉積。具備熱法沉積和等離子體增強沉積兩種方式，可以實現(xiàn)氧化鋁、氧化硅、氧化鉿等介質(zhì)層材料的沉積及、等導電材料的沉積，具備至少兩個工藝腔室，厚度表面粗糙度小于.，最大尺寸達到英寸，片內(nèi)厚度均勻性＜%。貨期：從合同簽訂在個月內(nèi)交貨；保修期:年，提供現(xiàn)場技術咨詢，提供免費培訓，保內(nèi)維修承諾: 免費更換配件，報修承諾: 小時。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。