英寸后段濕法去膠機 項目所在采購意向： 年月政府采購意向 采購單位： 采購項目名稱： 英寸后段濕法去膠機 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 采購需求概況 ： 用于后段含金屬暴露的、光刻膠灰化后的晶圓的有機污染物清洗，同時也用作電極制備 工藝中的光刻膠的去除。機臺為全自動 槽式濕法刻蝕機，要求配有，，/丙酮/乙醇化學槽對應(yīng)不同去膠工藝。其中 工藝槽要求配備雙過濾系統(tǒng)，提高金屬顆粒的潔凈能力。要求良好的清洗效果，有均勻的刻蝕能力以及流量、溫度控制能力。 預(yù)計采購時間： - 備注： / 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準。