英寸單片清洗機(jī) 項(xiàng)目所在采購意向： 年月政府采購意向 采購單位： 采購項(xiàng)目名稱： 英寸單片清洗機(jī) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 采購需求概況 ： 主要用于含-與薄膜鈮酸鋰材質(zhì)的晶圓的清洗工藝，以及前道濕法去膠工藝。機(jī)臺(tái)為全自動(dòng)單片式濕法清洗機(jī)，要求配備至少三個(gè)獨(dú)立腔體，每個(gè)腔體具備標(biāo)準(zhǔn)工藝（+++），出口溫度大于℃。每個(gè)腔體包含背部清洗工藝，公共傳輸區(qū)域（包括機(jī)械手、暫存區(qū)、翻轉(zhuǎn)區(qū)等）需要做清洗前、清洗后路徑分離。要求良好的清洗效果和金屬污染控制，有均勻的刻蝕能力以及流量、溫度控制能力。 預(yù)計(jì)采購時(shí)間： - 備注： / 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。