項(xiàng)目概況 等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) 招標(biāo)項(xiàng)目的潛在投標(biāo)人應(yīng)在華采招標(biāo)集團(tuán)有限公司(北京市豐臺(tái)區(qū)廣安路號(hào)國(guó)投財(cái)富廣場(chǎng)號(hào)樓室)獲取招標(biāo)文件,并于年月日 點(diǎn)分(北京時(shí)間)前遞交投標(biāo)文件。
一、項(xiàng)目基本情況
項(xiàng)目編號(hào):--
項(xiàng)目名稱:等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
預(yù)算金額:. 萬(wàn)元(人民幣)
采購(gòu)需求:
碳基柵疊層項(xiàng)目是為推動(dòng)碳基芯片的發(fā)展而設(shè)立,氧化硅和氮化硅薄膜是碳基器件測(cè)墻薄膜主要組成,等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積是沉積氧化硅和氮化硅薄膜最主要的工藝,具有沉積速率快,沉積溫度低的特點(diǎn),其原理是在射頻源驅(qū)動(dòng)下,通過(guò)感應(yīng)耦合方式、在反應(yīng)腔的上電極、下電極之間生成高密度等離子體,通過(guò)氣路系統(tǒng)進(jìn)入反應(yīng)腔的工藝氣體分子被電離生成等離子體;等離子體中的自由基發(fā)生化學(xué)反應(yīng)、生成氧化硅、氮化硅等介質(zhì),在襯底材料(例如硅、砷化鎵等半導(dǎo)體材料)上沉積成固體薄膜,對(duì)推進(jìn)碳基集成電路的研發(fā)非常重要。具體詳見(jiàn)招標(biāo)文件第四章采購(gòu)需求。
合同履行期限:合同簽訂后天交貨并安裝完畢
本項(xiàng)目(不接受 )聯(lián)合體投標(biāo)。
二、申請(qǐng)人的資格要求:
.滿足《中華人民共和國(guó)政府采購(gòu)法》第二十二條規(guī)定;
.落實(shí)政府采購(gòu)政策需滿足的資格要求:
無(wú)
.本項(xiàng)目的特定資格要求:()投標(biāo)人必須為投標(biāo)文件遞交截止之日前未被列入“信用中國(guó)”網(wǎng)站(...)、中國(guó)政府采購(gòu)網(wǎng)(...)信用記錄失信被執(zhí)行人、重大稅收違法失信主體、政府采購(gòu)嚴(yán)重違法失信行為記錄名單的;()不同投標(biāo)人的法人、單位負(fù)責(zé)人不是同一人也不存在直接控股、管理關(guān)系;()投標(biāo)人必須向采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)購(gòu)買招標(biāo)文件并登記備案,未向采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)購(gòu)買招標(biāo)文件并登記備案的無(wú)資格參加本次投標(biāo);()本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo);()本項(xiàng)目接受進(jìn)口產(chǎn)品;()本項(xiàng)目非專門面向中小企業(yè)
三、獲取招標(biāo)文件
時(shí)間:年月日 至年月日,每天上午:至:,下午:至:。(北京時(shí)間,法定節(jié)假日除外)
地點(diǎn):華采招標(biāo)集團(tuán)有限公司(北京市豐臺(tái)區(qū)廣安路號(hào)國(guó)投財(cái)富廣場(chǎng)號(hào)樓室)
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