項(xiàng)目概況 原子層刻蝕系統(tǒng) 招標(biāo)項(xiàng)目的潛在投標(biāo)人應(yīng)在華采招標(biāo)集團(tuán)有限公司（北京市豐臺區(qū)廣安路號國投財富廣場號樓室）獲取招標(biāo)文件，并于年月日 點(diǎn)分（北京時間）前遞交投標(biāo)文件。 一、項(xiàng)目基本情況 項(xiàng)目編號：-- 項(xiàng)目名稱：原子層刻蝕系統(tǒng) 預(yù)算金額：. 萬元（人民幣） 采購需求： 碳基柵疊層項(xiàng)目是為推動碳基芯片的發(fā)展而設(shè)立，針對碳納米管襯底的半導(dǎo)體器件，由于碳納米管直徑在幾個納米的范圍，在等離子的轟擊下很容易被破壞，感應(yīng)耦合原子層刻蝕系統(tǒng)憑借低離子損傷，高精度的刻蝕速率控制，最大程度上減小柵介質(zhì)刻蝕過程對碳納米管的損傷。利用原子層沉積的模式精確地控制對介質(zhì)的刻蝕速率，對氧化鉿、氧化鋁和氧化釔介質(zhì)薄膜的刻蝕速率達(dá)到小于/,實(shí)現(xiàn)對高柵介質(zhì)的高精度刻蝕,推動碳基集成電路的發(fā)展。具體詳見招標(biāo)文件第四章采購需求。 合同履行期限：合同簽訂后天交貨并安裝完畢 本項(xiàng)目(不接受 )聯(lián)合體投標(biāo)。 二、申請人的資格要求： .滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定； .落實(shí)政府采購政策需滿足的資格要求： 無 .本項(xiàng)目的特定資格要求：()投標(biāo)人必須為投標(biāo)文件遞交截止之日前未被列入“信用中國”網(wǎng)站（...）、中國政府采購網(wǎng)（...）信用記錄失信被執(zhí)行人、重大稅收違法失信主體、政府采購嚴(yán)重違法失信行為記錄名單的；()不同投標(biāo)人的法人、單位負(fù)責(zé)人不是同一人也不存在直接控股、管理關(guān)系；()投標(biāo)人必須向采購代理機(jī)構(gòu)購買招標(biāo)文件并登記備案，未向采購代理機(jī)構(gòu)購買招標(biāo)文件并登記備案的無資格參加本次投標(biāo)；()本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo)；()本項(xiàng)目接受進(jìn)口產(chǎn)品；()本項(xiàng)目非專門面向中小企業(yè)。 三、獲取招標(biāo)文件 時間：年月日 至年月日，每天上午:至:，下午:至:。（北京時間，法定節(jié)假日除外） 地點(diǎn)：華采招標(biāo)集團(tuán)有限公司（北京市豐臺區(qū)廣安路號國投財富廣場號樓室） 方式：現(xiàn)場獲取，攜帶現(xiàn)金，招標(biāo)文件售后不退 售價：￥. 元，本公告包含的招標(biāo)文件....