項目位于上海市嘉定區(qū)，總建筑面積4.71萬平方米，包含1棟3層框架結(jié)構(gòu)主廠房，1棟6層框架結(jié)構(gòu)宿舍，1棟1層開閉所和1棟門衛(wèi)。作為盛劍科技產(chǎn)業(yè)布局中的重要一環(huán)，項目旨在打造集研發(fā)、制造、銷售和維保服務(wù)于一體的國產(chǎn)先進半導(dǎo)體附屬裝備平臺。項目的順利投產(chǎn)進一步提升了半導(dǎo)體制程附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件的生產(chǎn)能力、運維能力和產(chǎn)業(yè)競爭力，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的國產(chǎn)化和供應(yīng)鏈安全注入了新的活力