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（優(yōu)）投資11億元的半導(dǎo)體芯片制造項(xiàng)目
發(fā)布日期：2023-10-25
所屬地區(qū)：江蘇省
所屬行業(yè)：機(jī)械電子
進(jìn)展階段：開工
投資金額：110000萬元
業(yè)主單位：
項(xiàng)目摘要：
主要設(shè)備：CSD涂源機(jī)、大束流注入機(jī)、離子注入機(jī)、顯影通道、槽式PI顯影柜、勻膠顯影機(jī)、涂膠顯影一體機(jī)、PI涂膠顯像機(jī)、勻膠機(jī)、PT涂源臺、貼膜機(jī)、甩干機(jī)、集電極腐蝕機(jī)、剝離去膠槽、雙面銀鋁腐蝕機(jī)、擋片清洗機(jī)、片架片盒清洗機(jī)、清洗柜、擦片機(jī)、泡酸柜、有機(jī)清洗機(jī)、超聲清洗機(jī)、清洗酸槽、光刻機(jī)、擴(kuò)散爐、揭膜機(jī)、氧化爐、烘箱、發(fā)泡機(jī)、等刻臺、水淋塔、打標(biāo)機(jī)、測試儀、全自動(dòng)測試臺、顯微鏡、老化臺、檢測儀、臺階儀、祛濕氮?dú)夤?、芯片取置機(jī)等。
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