原子層沉積系統(tǒng) 項目所在采購意向： 中國科學(xué)院近代物理研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院近代物理研究所 采購項目名稱： 原子層沉積系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 真空應(yīng)用設(shè)備 采購需求概況 ： 名稱：原子層沉積系統(tǒng) 、目標(biāo)：對核孔膜材料進行封裝或表面修飾，能夠滿足及終端輻照的核孔膜寬幅，實現(xiàn)在米級核孔膜表面沉積多種氧化物。 、數(shù)量：套。 、技術(shù)指標(biāo)： （）腔室有效鍍膜區(qū)域不小于 × ,可同時放片 × 基底；（）極限真空≤. ，由全量程規(guī)和薄膜規(guī)組成的真空計組，測量范圍×- -大氣壓，精度滿量程的±%；（）腔體加熱溫度范圍：室溫-℃，控制精度± ℃；（）路金屬前驅(qū)體系統(tǒng)，源瓶容量≥ ，源瓶和管路可加熱至 ℃；（）氧源： 套水源，配置≥ 直通源瓶； 路臭氧源，含臭氧發(fā)生器；（）載氣系統(tǒng)： 路，可接入氮氣，質(zhì)量流量計+氣動閥控制；（）具備報警系統(tǒng)：具有火焰報警系統(tǒng)，當(dāng)檢測到火焰，切斷電源并報警；具有冷卻水、、 傳感系統(tǒng)，當(dāng)廠務(wù)冷卻水、、壓力不滿足使用條件時，停止工藝并報警；（）包含控制系統(tǒng)，可實現(xiàn)沉系過程自動控制；（）工藝交付，可實現(xiàn), ，等材料的穩(wěn)定沉積，包含低溫工藝，沉積溫度不超過℃；（）厚度均勻性≤±%。 、質(zhì)量和服務(wù)：（）投標(biāo)方需為本項目配備足夠的售后服務(wù)力量，具有國內(nèi)本地化的服務(wù)團隊。（） 投標(biāo)方售后服務(wù)響應(yīng)時間：電話響應(yīng)時間要求小時內(nèi)，到場響應(yīng)時間要求個工作日內(nèi)（指從接到報障至到達故障現(xiàn)場的時間）。（）投標(biāo)方免費提供技術(shù)支持熱線電話。（）投標(biāo)方免費提供技術(shù)支持，并且在小時內(nèi)回復(fù)。（） 投標(biāo)方提供儀器設(shè)備的免費保修期主機一年，配件一年（保修期內(nèi)免費維修并更換除消耗品以外的零部件，維修人....