南方科技大學(xué)氮化物材料氣相沉積設(shè)備意向公開 采購(gòu)單位: 南方科技大學(xué) 項(xiàng)目名稱: 氮化物材料氣相沉積設(shè)備 預(yù)算金額(元): ,,. 采購(gòu)品目: 其他機(jī)械設(shè)備 采購(gòu)需求概況: 氮化物材料氣相沉積設(shè)備功能是將Ⅱ或Ⅲ族金屬有機(jī)化合物與Ⅵ或Ⅴ族元素的氫化物通入反應(yīng)腔,混合氣體流經(jīng)加熱的襯底表面時(shí)發(fā)生熱分解反應(yīng),并外延生長(zhǎng)成化合物單晶薄膜。 聯(lián)系人: 周老師 聯(lián)系電話: 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間: - 備注: 無(wú) 本次公開的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排,具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)
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