英寸非接觸式光刻機(jī) 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所 采購(gòu)項(xiàng)目名稱： 英寸非接觸式光刻機(jī) 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： 航天專用工藝設(shè)備 采購(gòu)需求概況 ： . 曝光光源：汞燈（線），投影圖形: ； . 最大光刻面積：英寸； . 分辨率：優(yōu)于.μ (正性光刻膠厚度)； . 套刻精度：優(yōu)于±； . 拼接精度：± . 曝光時(shí)間：≤@ （全片超過(guò).億個(gè)多邊形結(jié)構(gòu)）； . 掩模版下表面與芯片上表面之間距離不小于。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。