激光脈沖沉積（）采購(gòu) 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 北京理工大學(xué)年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 北京理工大學(xué) 采購(gòu)項(xiàng)目名稱： 激光脈沖沉積（）采購(gòu) 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： 激光儀器 采購(gòu)需求概況 ： 本次采購(gòu)擬購(gòu)置中國(guó)矩陣 - 型激光脈沖沉積（）系統(tǒng) 套，用于高質(zhì)量 色心金剛石薄膜的制備。該設(shè)備需具備在超高真空環(huán)境下實(shí)現(xiàn)高純度、高均勻度和低缺陷密度的薄膜沉積能力，能夠通過多靶位切換與等離子輔助實(shí)現(xiàn)氮、硅等元素的精確共摻雜，支持納米級(jí)厚度控制與層狀生長(zhǎng)模式，從而顯著提升 色心的相干時(shí)間和量子態(tài)可讀性，滿足量子慣性導(dǎo)航、量子磁力計(jì)、量子頻率標(biāo)準(zhǔn)及量子計(jì)算等研究方向的核心需求。采購(gòu)設(shè)備需運(yùn)行穩(wěn)定、質(zhì)量可靠，供應(yīng)商需提供完善的安裝調(diào)試、操作培訓(xùn)和售后保障，系統(tǒng)必須符合急停、過載保護(hù)、漏電保護(hù)、安全互鎖等實(shí)驗(yàn)室安全要求，并在合同約定時(shí)限內(nèi)完成交付與現(xiàn)場(chǎng)能力驗(yàn)收，確保中試平臺(tái)建設(shè)順利推進(jìn)。 主要參數(shù)： . 主腔室： 兼容，全金屬密封，抽氣系統(tǒng)包括進(jìn)口分子泵（抽速 ≥ /）和渦旋干泵（≥. /），本底真空優(yōu)于 ×？？ 。 . 進(jìn)樣室：配有樣品/靶材存儲(chǔ)裝置，自動(dòng)升降，抽氣系統(tǒng)包含分子泵（抽速 ≥ /），本底真空優(yōu)于 ×？？ 。 .氣路系統(tǒng)：含 ？ 和 兩路工藝氣體通道，另設(shè) ？ 放氣氣路，進(jìn)口質(zhì)量流量計(jì) 套，支持氧氣回充高溫退火，具備旁抽與粗抽氣路控制。 .加熱臺(tái)：最高溫度 °，溫度穩(wěn)定性 ±°，基片尺寸 英寸，支持 三軸移動(dòng)及旋轉(zhuǎn)/傾斜電控調(diào)節(jié)。 . 靶臺(tái)：可裝載 φ 英寸 × 個(gè)靶材， 線性掃描由步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，支持自動(dòng)升降與防交叉污染設(shè)計(jì)。 .光學(xué)系統(tǒng)：包含全封閉光路架與保護(hù)罩，配套進(jìn)口反射鏡與透鏡，支持激光光斑 °翻轉(zhuǎn)及聚焦。 .激光器：進(jìn)口準(zhǔn)分子激光器，波長(zhǎng) ，單脈沖能量 ....