高阻襯底單片型硅像素探測器芯片工藝驗(yàn)證及流片項(xiàng)目 項(xiàng)目所在采購意向： 中國科學(xué)院高能物理研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院高能物理研究所 采購項(xiàng)目名稱： 高阻襯底單片型硅像素探測器芯片工藝驗(yàn)證及流片項(xiàng)目 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 采購需求概況 ： 制程工藝流片，需支持使用歐姆厘米以上高阻襯底寸晶圓，需提供完整模擬和數(shù)字電路設(shè)計(jì)庫，并能按照采購單位設(shè)計(jì)要求調(diào)整工藝、增加或調(diào)整光罩層，預(yù)期年月之前可完成工藝調(diào)整和芯片流片。 預(yù)計(jì)采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。