化學(xué)氣相沉積工藝交互式系統(tǒng) 項(xiàng)目所在采購意向： 大連理工大學(xué)年月政府采購意向 采購單位： 大連理工大學(xué) 采購項(xiàng)目名稱： 化學(xué)氣相沉積工藝交互式系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 其他試驗(yàn)儀器及裝置 采購需求概況 ： 化學(xué)氣相沉積工藝交互式系統(tǒng)，包括等離子體化學(xué)氣相沉積原理機(jī)臺和微波等離子體化學(xué)氣相沉積工藝設(shè)備臺，以及正常使用所需外圍條件。等離子體化學(xué)氣相沉積原理機(jī)應(yīng)包括：傳輸平臺、等離子體系統(tǒng)、腔室系統(tǒng)、軟件控制系統(tǒng)、安全模塊；配備晶圓載臺仿真加熱，腔室?guī)в屑訜崮K，加熱參數(shù)可設(shè)置；真空系統(tǒng)配備工業(yè)機(jī)械真空泵、皮拉尼真空規(guī)、電磁閥、放氣閥；軟件部分配備控制軟件，可視化圖形操作界面，能夠模擬系統(tǒng)實(shí)時(shí)狀態(tài)參數(shù)的顯示；配有虛擬現(xiàn)實(shí)模塊，包含自動(dòng)和手動(dòng)拆解功能，可還原設(shè)備外觀和使用環(huán)境。微波等離子體化學(xué)氣相沉積工藝設(shè)備，主要參數(shù)應(yīng)滿足：加熱系統(tǒng)溫控范圍≤℃；頻率范圍：±；輸出功率范圍：-連續(xù)可調(diào)；有效沉積區(qū)域：≥Φ；配備氣路≥路；制氫機(jī)的制備純度≥.%，流量≥/。提供運(yùn)輸、安裝和售后服務(wù)。 預(yù)計(jì)采購時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。