面向原子級功能晶體表/界面科學的脈沖激光沉積系統(tǒng) 項目所在采購意向： 中國科學院上海硅酸鹽研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院上海硅酸鹽研究所 采購項目名稱： 面向原子級功能晶體表/界面科學的脈沖激光沉積系統(tǒng) 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 真空應用設備 采購需求概況 ： ）樣品臺直徑≥ (可實現× 樣品生長)，最高加熱溫度≥ °，可編程控制升降溫速率，原位測溫最高至 °；）主腔真空度&; ×- ，二路氣體、；）多靶位掃描靶臺系統(tǒng)，多靶臺位移臺，可軟件控制靶材切換和面掃；）準分子激光器，最大功率 ，重頻 ；）系統(tǒng)最高工作氣壓≥ . ，信號采集與處理軟件 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。