納米探針系統(tǒng) 項目所在采購意向： 工業(yè)和信息化部電子第五研究所年至月政府采購意向 采購單位： 工業(yè)和信息化部電子第五研究所 采購項目名稱： 納米探針系統(tǒng) 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 電子工業(yè)生產(chǎn)設備 采購需求概況 ： 納米探針系統(tǒng)用于半導體微小結構、納米級晶體管的電性能測量。該系統(tǒng)需具備：）基于原子力顯微鏡的測量系統(tǒng)，降低待測器件受荷電的影響；）探針針尖半徑和圖像漂移指標能夠適應先進制程晶體管測量尺寸。 預計采購時間： - 備注： 重點 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。