低損傷電感耦合等離子體刻蝕槽像元隔離設(shè)備 項(xiàng)目所在采購意向： 中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所 采購項(xiàng)目名稱： 低損傷電感耦合等離子體刻蝕槽像元隔離設(shè)備 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 航天專用工藝設(shè)備 采購需求概況 ： ）刻蝕選擇比(光刻膠為掩膜):&;:; ）硅材料刻蝕片內(nèi)均勻性(英寸硅晶圓去邊)：&;+%; ）側(cè)壁粗糙度：&;; 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。