合肥工業(yè)大學(xué)飛秒激光微納加工系統(tǒng) 項目所在采購意向： 合肥工業(yè)大學(xué)年月政府采購意向 采購單位： 合肥工業(yè)大學(xué) 采購項目名稱： 合肥工業(yè)大學(xué)飛秒激光微納加工系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 激光儀器 采購需求概況 ： 主要技術(shù)指標 飛秒激光器 中心波長，脈寬≤，重復(fù)頻率-可調(diào)，平均功率≥，單脈沖能量≥μ。 高速脈沖調(diào)制模塊 可控單脈沖能量調(diào)節(jié)，器件調(diào)節(jié)速率 &;= , 光束調(diào)節(jié)速率脈沖/秒，調(diào)節(jié)消光比&;;=:。配合軟件實現(xiàn)圖形灰度輸出掃描。 加工 工作波長-，焦深，工作距離，光斑直徑.。 支持飛行掃描打孔。 電動臺 .. 為氣浮臺 .. 行程 &;= .. 重復(fù)精度 &;;= +/-. .. 直線度 &;;= +/-. , &;= +/-. .. 最小位移量 &;;= .. 最大速度 &;;= /, &;= / .. 整體負載 &;= .. 三軸驅(qū)控一體控制器，含任意單軸，支持三軸插補。 顯微振鏡 .. 同軸成像模塊，彩色相機，像素，. 像元. 白光照明. .. 五孔 物鏡轉(zhuǎn)盤，- 長工作距物鏡 .. 最小聚焦光斑 &;= . @ 物鏡。 .. 激光焦點與顯微成像共焦。 .. 振鏡掃描線寬 &;= ，掃描重復(fù)精度&;;= +/-. @物鏡 .. 自動追焦模塊, 光束，刷新頻率。追焦范圍&;;= ....