離子束刻蝕系統(tǒng) 項目所在采購意向： 中國科學院半導體研究所年月政府采購意向 采購單位： 中國科學院半導體研究所 采購項目名稱： 離子束刻蝕系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 采購需求概況 ： 擬購置的離子束刻蝕可對半導體、絕緣體、金屬進行高穩(wěn)定性、高重復(fù)性、低損傷氬離子物理刻蝕。 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準。