吋硅光成套工藝及定制化研發(fā) 項目所在采購意向： 浙江大學(xué)年至月政府采購意向 采購單位： 浙江大學(xué) 采購項目名稱： 吋硅光成套工藝及定制化研發(fā) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 電子、通信與自動控制技術(shù)研究服務(wù) 采購需求概況 ： 完成以下目標(biāo)所涉及到的吋產(chǎn)線設(shè)備的機(jī)臺使用費及加工費用： 、 ，吋硅光成套工藝，目標(biāo)：最小加工尺寸≤，基于曲線的硅光前修正技術(shù)，波導(dǎo)寬度偏差≤，條形波導(dǎo)損耗≤/，錐形波導(dǎo)尖端尺寸≤，氮化硅波導(dǎo)損耗≤./，層數(shù)≥需求指標(biāo)達(dá)標(biāo)交付晶圓數(shù)量；、", -, - , -, , 定制低功耗 成套工藝，目標(biāo)：≥./，≤/；：≥./，≤/，需求指標(biāo)達(dá)標(biāo)交付晶圓數(shù)量； 、", -, - , -, , 定制高壓 成套工藝，目標(biāo)：≥./，≤/；：≥./，≤/，需求指標(biāo)達(dá)標(biāo)交付晶圓數(shù)量；、 ，硅光探測器器件，目標(biāo)：硅基鍺探測器暗電流≤，響應(yīng)度≥./ 帶寬≥，需求指標(biāo)達(dá)標(biāo)交付晶圓數(shù)量；、 ，應(yīng)變晶體管，目標(biāo)：與常規(guī)晶體管相比，器件速度提升，漏電降低，需求指標(biāo)達(dá)標(biāo)交付晶圓數(shù)量。 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體....