英寸干法去膠機(jī) 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 年月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 采購(gòu)項(xiàng)目名稱： 英寸干法去膠機(jī) 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： 采購(gòu)需求概況 ： 用于凹槽內(nèi)光刻膠殘膠去除，表面等離子體活化，解鍵合后表面殘膠去除，光刻膠灰化工藝。要求配備至少兩個(gè)腔體，公共傳輸區(qū)域（包括機(jī)械手、暫存區(qū)等）需要做制程前、制程后路徑分離。要求良好的刻蝕均勻度與刻蝕速率。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： / 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。