英寸槽式濕法蝕刻機 項目所在采購意向： 年月政府采購意向 采購單位： 采購項目名稱： 英寸槽式濕法蝕刻機 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 采購需求概況 ： 主要用于-材料刻蝕，以及部分，等物質(zhì)的蝕刻工藝。機臺為全自動 槽式濕法刻蝕機，要求配置多個花籃用于承接不同材質(zhì)晶圓，有高溫， ，-蝕刻液等化學品槽，且化學槽模塊之間工藝獨立，水槽不共用，避免交叉污染。要求良好的清洗效果和金屬污染控制，有均勻的刻蝕能力以及流量、溫度控制能力。 預計采購時間： - 備注： / 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。