脈沖激光沉積系統(tǒng) 項(xiàng)目所在采購意向： 華中科技大學(xué)年月政府采購意向 采購單位： 華中科技大學(xué) 采購項(xiàng)目名稱： 脈沖激光沉積系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 工藝試驗(yàn)機(jī) 采購需求概況 ： &;#;擬脈沖激光沉積系統(tǒng)臺。 主要規(guī)格參數(shù)： 、抽氣系統(tǒng)包括進(jìn)口分子泵(抽速≥ /)和進(jìn)口渦旋干泵(抽速≥. /)，腔體與分子泵之間配有氣動閘板閥，本底真空度優(yōu)于-； 、靶臺：靶材尺寸及數(shù)量：φ英寸× 個；每個靶材均可實(shí)現(xiàn)自轉(zhuǎn)、公轉(zhuǎn)，自轉(zhuǎn)速率≤ ，由電機(jī)控制；可在公轉(zhuǎn)方向上擺動掃描，以實(shí)現(xiàn)激光對靶材的均勻燒蝕； 、配備進(jìn)口電子槍，電子槍能量最高可達(dá) ，工作氣壓最高可達(dá). （ ）； 、配備進(jìn)口離子源，電源功率大于，流量計(jì)； 、質(zhì)保：自驗(yàn)收合格之日起兩年； 、售后：所有硬件兩年免費(fèi)保修、所有軟件免費(fèi)保修升級、電話報修后小時上門服務(wù)、小時內(nèi)排除故障。&;#; 預(yù)計(jì)采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。