電子束蒸鍍機(jī) 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 華中科技大學(xué)年月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 華中科技大學(xué) 采購(gòu)項(xiàng)目名稱： 電子束蒸鍍機(jī) 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： 工藝試驗(yàn)機(jī) 采購(gòu)需求概況 ： &;#;擬購(gòu)電子束蒸鍍機(jī)臺(tái)。 主要技術(shù)指標(biāo)： 、溫度可以高達(dá)攝氏度，誤差為+/-%； 、”晶圓薄膜沉積均勻性可以達(dá)到σ&;; .%, 。 、設(shè)備可以運(yùn)行最大”晶圓，并向下兼容； 、設(shè)備預(yù)留多個(gè)功能模塊位置，可以方便升級(jí)，添加其他功能模塊，如磁控濺射、離子刻蝕、等； 、質(zhì)保：自驗(yàn)收合格之日起兩年； 、售后：所有硬件兩年免費(fèi)保修、所有軟件免費(fèi)保修升級(jí)、電話報(bào)修后小時(shí)上門服務(wù)、小時(shí)內(nèi)排除故障。&;#; 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。