原子層刻蝕系統(tǒng) 項目所在采購意向： 華中科技大學年月政府采購意向 采購單位： 華中科技大學 采購項目名稱： 原子層刻蝕系統(tǒng) 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 工藝試驗機 采購需求概況 ： &;#;擬購原子層刻蝕系統(tǒng)套。 主要技術指標： 、英寸向下兼容； 、射頻：頻率.，上射頻額定功率≥，下射頻額定功率≤； 、配備快速切換閥，響應時間&;;； 、氣路總數(shù)可達路，每路入口配有截止閥； 、質保：自驗收合格之日起兩年； 、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后小時上門服務、小時內排除故障。&;#; 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。