英寸晶圓預(yù)清洗機(jī) 項(xiàng)目所在采購意向： 年月政府采購意向 采購單位： 采購項(xiàng)目名稱： 英寸晶圓預(yù)清洗機(jī) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 采購需求概況 ： 用于，爐管，薄膜前后對(duì)晶圓表面、背面及晶圓邊緣的清洗。機(jī)臺(tái)為全自動(dòng)濕法預(yù)清洗機(jī)，要求配備個(gè)腔體，包括三個(gè)正洗單元和一個(gè)背洗單元。分別對(duì)不同材質(zhì)晶圓的正背面進(jìn)行清洗。公共傳輸區(qū)域（包括機(jī)械手、暫存區(qū)、翻轉(zhuǎn)區(qū)）需要做清洗前、清洗后路徑分離。正洗單元要求配置有二流體噴嘴、高壓噴嘴、噴嘴和刷頭，背洗單元要求配備二流體噴嘴、高壓噴嘴、噴嘴和晶邊刷頭。晶圓要有背噴保護(hù)。要求良好的清洗效果和金屬污染控制。 預(yù)計(jì)采購時(shí)間： - 備注： / 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。