反應(yīng)離子刻蝕機 項目所在采購意向： 華中科技大學(xué)年月政府采購意向 采購單位： 華中科技大學(xué) 采購項目名稱： 反應(yīng)離子刻蝕機 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 工藝試驗機 采購需求概況 ： &;#;擬購反應(yīng)離子刻蝕機臺。 主要規(guī)格參數(shù)： 、設(shè)備英寸并向下兼容； 、可實現(xiàn)對Ⅲ-Ⅴ族材料以及硅基材料的低損傷刻蝕；對的刻蝕：刻蝕速率&;;/； 、最大刻蝕深度&;;，對的選擇比&;;.:,側(cè)壁傾角±°； 、英寸范圍內(nèi)刻蝕均勻性&;;±%； 、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年； 、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后小時上門服務(wù)、小時內(nèi)排除故障。&;#; 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。