化學(xué)機械平坦化系統(tǒng) 項目所在采購意向： 華中科技大學(xué)年月政府采購意向 采購單位： 華中科技大學(xué) 采購項目名稱： 化學(xué)機械平坦化系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 工藝試驗機 采購需求概況 ： &;#;擬購化學(xué)機械平坦化系統(tǒng)套。 主要技術(shù)指標(biāo)： 、加工尺寸： 支持、、英寸； 、拋光頭轉(zhuǎn)速：最大轉(zhuǎn)速≥ ；誤差±%； 、拋光頭采用直驅(qū)電機。加壓方式：分區(qū)加壓控制； 、拋光頭分區(qū)：寸拋光頭 ；寸拋光頭：寸拋光頭 ； 、質(zhì)保：自驗收合格之日起兩年； 、售后：所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后小時上門服務(wù)、小時內(nèi)排除故障。&;#; 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。