化學(xué)機械平坦化系統(tǒng) 項目所在采購意向: 華中科技大學(xué)年月政府采購意向 采購單位: 華中科技大學(xué) 采購項目名稱: 化學(xué)機械平坦化系統(tǒng) 預(yù)算金額: .萬元(人民幣) 采購品目: 工藝試驗機 采購需求概況 : &;#;擬購化學(xué)機械平坦化系統(tǒng)套。 主要技術(shù)指標(biāo): 、加工尺寸: 支持、、英寸; 、拋光頭轉(zhuǎn)速:最大轉(zhuǎn)速≥ ;誤差±%; 、拋光頭采用直驅(qū)電機。加壓方式:分區(qū)加壓控制; 、拋光頭分區(qū):寸拋光頭 ;寸拋光頭:寸拋光頭 ; 、質(zhì)保:自驗收合格之日起兩年; 、售后:所有硬件兩年免費保修、所有軟件免費保修升級、電話報修后小時上門服務(wù)、小時內(nèi)排除故障。&;#; 預(yù)計采購時間: - 備注: 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。
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