集成電路介電材料多模式沉積鍍膜系統(tǒng) 項目所在采購意向： 北京科技大學(xué)年至月政府采購意向 采購單位： 北京科技大學(xué) 采購項目名稱： 集成電路介電材料多模式沉積鍍膜系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 其他儀器儀表 采購需求概況 ： （一）采購標(biāo)的名稱：集成電路介電材料多模式沉積鍍膜系統(tǒng) （二）采購標(biāo)需實現(xiàn)的主要功能或者目標(biāo) 本次購置的擬采購的集成電路介電材料多模式沉積鍍膜系統(tǒng)可用于高質(zhì)量金屬、柵介質(zhì)層、擴散阻擋層材料的可控沉積，具體包括、、、、、、、、等。 （三）采購標(biāo)的數(shù)量：套 （四）采購標(biāo)需滿足的質(zhì)量、服務(wù)、安全、時限等要求。 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。