吋高深寬比工藝氧化硅填充化學氣相沉積系統(tǒng) 項目所在采購意向： 中國科學院微電子研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院微電子研究所 采購項目名稱： 吋高深寬比工藝氧化硅填充化學氣相沉積系統(tǒng) 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 電子工業(yè)生產(chǎn)設備 采購需求概況 ： 該設備用于先進邏輯三維器件淺溝槽隔離填充，沉積薄膜成膜均勻性片內(nèi)片間均小于.%，可以實現(xiàn)對&;的凹槽（=:）無縫填充.成膜顆粒增加滿足&;顆/片。采購數(shù)量臺。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準。