深圳大學(xué)玻璃通孔金屬化填充與拋光系統(tǒng)意向公開 采購單位: 深圳大學(xué) 項目名稱: 玻璃通孔金屬化填充與拋光系統(tǒng) 預(yù)算金額（元）: ,,. 采購品目: 電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況: 本項目主要包含玻璃通孔金屬化填充設(shè)備與化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備兩大核心系統(tǒng)。玻璃通孔金屬化填充設(shè)備專為實現(xiàn)（ ）內(nèi)部高精度銅填充而設(shè)計，具備以下技術(shù)特性：）可完美實現(xiàn)-μ孔徑范圍內(nèi)的孔內(nèi)銅均勻填充，銅填充均勻性（）高達(dá)%以上；）兼容英寸和英寸標(biāo)準(zhǔn)晶圓加工，支持.-.厚度范圍的玻璃基板處理。設(shè)備集成先進(jìn)的真空預(yù)浸系統(tǒng)和精密電鍍系統(tǒng)（含陰陽極配置），配套高精度超聲波流量計（精度達(dá)±.%）和智能天車系統(tǒng)（重復(fù)定位精度≤±.），確保工藝過程的高度可控性。 化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備采用全自動化設(shè)計，主要功能包括：）選擇性去除表面凸起金屬，實現(xiàn)晶圓表面納米級平坦化；）支持/英寸晶圓雙面同步處理，提供刷內(nèi)出液和刷外滴液兩種化學(xué)品供給模式；）配備高性能滾刷系統(tǒng)（轉(zhuǎn)速≥）和精密旋轉(zhuǎn)平臺（晶圓轉(zhuǎn)速-可調(diào)），并具備高速甩干功能（≥）。該設(shè)備特別優(yōu)化了清洗工藝，通過多級刷洗單元和智能終點檢測系統(tǒng)，確保表面處理的一致性和可靠性。 預(yù)計采購時間: - 聯(lián)系人: 張老師 聯(lián)系電話: 備注: 無 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)