深圳大學玻璃通孔清洗系統(tǒng)意向公開 采購單位: 深圳大學 項目名稱: 玻璃通孔清洗系統(tǒng) 預算金額（元）: ,,. 采購品目: 電子工業(yè)生產(chǎn)設備 采購需求概況: 該項目需包含清洗設備和強堿供液系統(tǒng)。該項目所含的清洗設備用于硅片或玻璃基板的濕法清洗，需滿足標準（/）工藝要求；清洗設備需具備多槽式設計，支持去離子水沖洗、氮氣干燥等功能；清洗設備需具備板級及晶圓級兆聲系統(tǒng)、超聲系統(tǒng)、清洗系統(tǒng)、干燥系統(tǒng)、自動傳送系統(tǒng)，清洗設備兆聲清洗功率需≥，且所有系統(tǒng)均兼容英寸晶圓和*玻璃基板。該項目所含的強堿供液系統(tǒng)用于玻璃通孔的濕法清洗與刻蝕。 預計采購時間: - 聯(lián)系人: 陳老師 聯(lián)系電話: 備注: 無 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準