深圳大學(xué)等離子切割裝置意向公開
采購單位:
深圳大學(xué)
項(xiàng)目名稱:
等離子切割裝置
預(yù)算金額(元):
,,.
采購品目:
電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備
采購需求概況:
該等離子切割裝置需用于硅片或玻璃基板的高精度切割,支持英寸晶圓及×玻璃基板的加工需求。設(shè)備需滿足干法切割工藝要求,具備高刻蝕速率、低熱影響區(qū)()特性,確保切割邊緣無微裂紋、崩邊等缺陷。需兼容多種材料切割,包括但不限于硅、玻璃、石英及復(fù)合基板,并支持不同厚度(.~)的適應(yīng)性調(diào)整。
預(yù)計(jì)采購時(shí)間:
-
聯(lián)系人:
張老師
聯(lián)系電話:
備注:
無
本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)
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