深圳大學(xué)玻璃旋轉(zhuǎn)清洗及多腔勻膠顯影系統(tǒng)意向公開(kāi) 采購(gòu)單位: 深圳大學(xué) 項(xiàng)目名稱: 玻璃旋轉(zhuǎn)清洗及多腔勻膠顯影系統(tǒng) 預(yù)算金額（元）: ,,. 采購(gòu)品目: 電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購(gòu)需求概況: 板級(jí)自動(dòng)旋轉(zhuǎn)式清洗機(jī)能夠針對(duì)大尺寸非圓基板進(jìn)行清洗，主要對(duì)基板表面非有機(jī)物顆粒進(jìn)行清洗去除，達(dá)到工藝需求。相比傳統(tǒng)基板級(jí)清洗設(shè)備，該設(shè)備能夠兼容更大尺寸（×尺寸基板）。多腔全自動(dòng)勻膠顯影機(jī)使用于/寸晶圓，適配、的材質(zhì)，適應(yīng)以下翹曲晶圓或超薄晶圓傳送和涂膠顯影工藝。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間: - 聯(lián)系人: 黨老師 聯(lián)系電話: 備注: 無(wú) 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排,具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)