深圳大學(xué)電子束曝光機(jī)意向公開(kāi) 采購(gòu)單位: 深圳大學(xué) 項(xiàng)目名稱(chēng): 電子束曝光機(jī) 預(yù)算金額（元）: ,,. 采購(gòu)品目: 教學(xué)儀器 采購(gòu)需求概況: 電子束曝光是由高能量電子束和光刻膠相互作用，使膠由長(zhǎng)（短）鏈變成斷（長(zhǎng)）鏈，實(shí)現(xiàn)曝光，相比于光刻機(jī)具有更高的分辨率，主要用于制作光刻掩模版、硅片直寫(xiě)和納米科學(xué)技術(shù)研究。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間: - 聯(lián)系人: 陳老師 聯(lián)系電話(huà): 備注: 無(wú) 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排,具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)