雙光子灰度光刻系統(tǒng)(-) 項(xiàng)目所在采購意向： 中國科學(xué)院高能物理研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學(xué)院高能物理研究所 采購項(xiàng)目名稱： 雙光子灰度光刻系統(tǒng)(-) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -激光儀器 采購需求概況 ： 擬采購的雙光子灰度刻蝕系統(tǒng)，主要用于光源修正入射光束波前誤差，實(shí)現(xiàn)高相干成像或極限納米聚焦的功能。其主要指標(biāo)是可以加工三維立體亞微米器件，加工樣品的最大高度不低于，器件可以達(dá)到及以下的表面平整度，形狀精度優(yōu)于。配備有光纖對準(zhǔn)模組，其對準(zhǔn)精度優(yōu)于() ，共聚焦對準(zhǔn)模組，其三維對準(zhǔn)精度≤()/≤() 。系統(tǒng)采用浸入式激光光刻技術(shù)，包含飛秒光纖激光器，其中心波長 ± ，平均激光功率 ≥ ，包含的振鏡掃描系統(tǒng)具備超高精度的振鏡掃描系統(tǒng)，單個(gè)有效寫場最大直徑不小于μ，最高掃描速度不低于/，最大行程范圍不小于 * *。該能量調(diào)制的帶寬不低于，調(diào)節(jié)級(jí)數(shù)級(jí)及以上。 預(yù)計(jì)采購時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。