離子刻蝕機(jī) 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 采購(gòu)項(xiàng)目名稱： 離子刻蝕機(jī) 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購(gòu)需求概況 ： 采購(gòu)標(biāo)的名稱：離子刻蝕機(jī) 主要功能： 用于實(shí)現(xiàn)英寸基片上的高密度、小尺寸存儲(chǔ)器件的均勻刻蝕。 采購(gòu)標(biāo)的數(shù)量：臺(tái) 質(zhì)量要求： 、單器件尺寸優(yōu)于，間距低于； 、離子束源和基片表面相對(duì)角度：-度可調(diào)； 、具備元素分析功能，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)被刻蝕元素含量； 、可精確控制復(fù)雜結(jié)構(gòu)功能層材料的刻蝕深度和刻蝕選擇比。 服務(wù)、安全、時(shí)限等要求： 提供設(shè)備驗(yàn)收合格后年質(zhì)保。提供符合現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況的設(shè)備安裝方案。設(shè)備訂單生成后年內(nèi)交貨安裝完成。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。