深圳技術(shù)大學蝶形腔式意向公開 采購單位: 深圳技術(shù)大學 項目名稱: 蝶形腔式 預算金額（元）: ,,. 采購品目: 其他真空獲得及應(yīng)用設(shè)備 采購需求概況: 微波等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)主機 主要用于半導體級、光學級、熱沉級單晶金剛石及多晶金剛石的生長 ★有效沉積面積不小于英寸 在襯底上生長的多晶金剛石拉曼特征峰半高寬≤- ▲多晶金剛石熱導率≥ /·（需提供證明） 多晶金剛石生長速率≥ μ/ ▲厚度均勻性≤%，顏色均勻性好。測量方法：多點測量厚度，厚度均勻性=（-）/（*），、、分別是最大厚度、最小厚度、平均厚度。 薄膜沉積厚度≥ μ 真空系統(tǒng) 工作氣壓范圍：~ ★極限真空：＜ 氣壓控制：自動穩(wěn)壓，穩(wěn)壓范圍包含～ 真空泵：旋片式機械泵，抽氣速率≥. / 真空密封：腔體采用雙層氟膠圈密封，其余除必要機構(gòu)外均采用金屬密封 真空測量：配備兩個進口薄膜規(guī)，量程分別包含：~ 和~ ▲機械泵配備油霧分離器 ▲配備真空微塵分離器 微波系統(tǒng) ★微波頻率：± 微波反射保護：環(huán)形器，水負載 微波調(diào)諧：阻抗調(diào)配器，模式轉(zhuǎn)換天線 ★微波泄漏功率密度：≤ / 輸出功率≥，以上連續(xù)可調(diào) 自動控制系統(tǒng) 配置控制的不小于”觸摸顯示屏，用戶操作界面友好，所有操作均可在觸摸屏上完成 系統(tǒng)自帶全自動抽氣、起輝、升溫、降溫等預設(shè)流程，用戶操作簡便 系統(tǒng)支持全自動溫度控制、氣壓控制 ▲系統(tǒng)可設(shè)置不少于套工藝配方，每套配方不少于行數(shù)據(jù)。工藝數(shù)據(jù)可通過備份盤備份導出 氣路系統(tǒng) 氣路管路材質(zhì)：級鋼管 系統(tǒng)自帶五路高精度數(shù)字式，可擴展到六路 標配五路最大流速：: ，：，：，：，：. 冷卻系統(tǒng) ▲配....