薄膜粉體磁控濺射設(shè)備 項(xiàng)目所在采購意向： 浙江大學(xué)年至月政府采購意向 采購單位： 浙江大學(xué) 采購項(xiàng)目名稱： 薄膜粉體磁控濺射設(shè)備 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： -電氣物理設(shè)備 采購需求概況 ： 擬采購一套薄膜粉體磁控濺射設(shè)備 )最大適用于寸晶圓且向下兼容小尺寸；)配備預(yù)進(jìn)樣室，具備一鍵送樣，可以一次傳送片寸晶圓，且兼容高度不低于樣品；配獨(dú)立分子泵，抽速不低于/；)濺射方式采用向下濺射,腔體尺寸不小于”””（）；)低溫泵抽速不低于/,干泵抽速不低于/)設(shè)備為集裝式，帶六只腳輪，可固定可移動；)不少于路，配所有所需得真空測量系統(tǒng)；)工件臺為直徑英寸射頻偏壓工件臺，與靶槍共用一套電源，轉(zhuǎn)速-可調(diào)；)工件盤最高加熱溫度度，非燈絲加熱，溫度均勻性±%；)樣品臺和靶槍具體可調(diào)，調(diào)整范圍不小于;)配備個英寸圓形共焦濺射靶槍，靶槍角度-°可調(diào)；)配備一套直流電源，功率不低于,可以切換至個靶槍；采購設(shè)備需滿足相應(yīng)設(shè)備技術(shù)參數(shù)中的各項(xiàng)指標(biāo)，產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)到設(shè)計(jì)要求，安裝調(diào)試各項(xiàng)指標(biāo)符合招標(biāo)技術(shù)參數(shù)，其售后服務(wù)應(yīng)滿足：（）不論質(zhì)保期內(nèi)外，賣方應(yīng)當(dāng)提供*小時電話支持服務(wù)；（）質(zhì)保期內(nèi)因產(chǎn)品質(zhì)量出現(xiàn)問題，買方有權(quán)要求賣方予以無條件維修、更換或退貨；（）質(zhì)保期內(nèi)所有的配件和人工費(fèi)用由廠家承擔(dān)；（）廠商應(yīng)及時免費(fèi)提供合同貨物軟件的升級，免費(fèi)提供合同貨物新功能和應(yīng)用的資料；（）質(zhì)保期屆滿后，賣方仍對本合同項(xiàng)下貨物提供有償服務(wù)，且維修時只收取所需維修部件的市場成本價費(fèi)用，服務(wù)內(nèi)容應(yīng)與質(zhì)保期內(nèi)的要求相一致。 預(yù)計(jì)采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具....