為便于供應(yīng)商及時(shí)了解政府采購信息，根據(jù)《財(cái)政部關(guān)于開展政府采購意向公開工作的通知》（財(cái)庫〔〕號(hào)）等有關(guān)規(guī)定，現(xiàn)將本單位年月至年月采購意向公開如下： 序號(hào) 采購項(xiàng)目名稱 采購需求概況 落實(shí)政府采購政策情況 預(yù)算金額(元) 預(yù)計(jì)采購時(shí)間 備注 華南師范大學(xué)原子層沉積系統(tǒng)采購項(xiàng)目 標(biāo)的名稱：原子層沉積系統(tǒng) 標(biāo)的數(shù)量： 主要功能或目標(biāo)：該設(shè)備應(yīng)同時(shí)具有-和功能，且兩種功能能夠自動(dòng)切換來制備周期性交替薄膜?？杉庸ご缂按缫韵鹿杵瑯悠罚?寸硅片生長重復(fù)性及厚度不均勻性控制在一定范圍內(nèi)。? 需滿足的要求：通過熱原子層沉積（-）和等離子體增強(qiáng)原子層沉積（）制備致密的、納米尺度的氧化物薄膜, 例如、、等薄膜。等離子體源須采用真遠(yuǎn)程等離子體方式，以減少對(duì)樣品的表面損傷，且制備溫度可低于℃。兼容英寸及以下的晶圓和不規(guī)則碎片。配備預(yù)真空室，可自動(dòng)進(jìn)行樣品傳送。載物臺(tái)最高加熱溫度≥℃；配置防腐蝕設(shè)計(jì)的羅茨干泵，抽速≥ /等。 按規(guī)定落實(shí) ,,. 年月 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項(xiàng)目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。 華南師范大學(xué) 年月日