為便于供應商及時了解政府采購信息,根據(jù)《財政部關(guān)于開展政府采購意向公開工作的通知》(財庫〔〕號)等有關(guān)規(guī)定,現(xiàn)將本單位年月至年月采購意向公開如下: 序號 采購項目名稱 采購需求概況 落實政府采購政策情況 預算金額(元) 預計采購時間 備注 華南師范大學物理學院采購電子束蒸發(fā)系統(tǒng)項目 標的名稱:電子束蒸發(fā)系統(tǒng) 標的數(shù)量: 主要功能或目標:滿足國家級物理實驗教學示范中心、教育部基礎(chǔ)學科拔尖學生培養(yǎng)計劃.的教學實驗平臺建設(shè)需求。該設(shè)備在高真空狀態(tài)下由電子束加熱坩堝中的金屬,使其熔融后蒸發(fā)到所需基片上形成金屬膜,是半導體微納加工設(shè)備之一。 需滿足的要求:.優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料的主腔體和過渡腔體。 .采用進口渦旋分子泵和渦旋干泵本底真空優(yōu)于-。 .-基距:>。 .電型電子槍,工作真空-; 配穴直冷式坩堝。 .高精度膜厚控制儀,厚度和速率分辨率/測量:±. ?,速率顯示:. ?/秒。 .設(shè)備可升級高通量掩模版,通過掩膜板的運動在基片上實現(xiàn)連續(xù)二元和三元組分薄膜沉積。 按規(guī)定落實 ,,. 年月 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排,具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準。 華南師范大學 年月日
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