深硅刻蝕機(jī)（） 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 重慶大學(xué)年月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 重慶大學(xué) 采購(gòu)項(xiàng)目名稱： 深硅刻蝕機(jī)（） 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： 電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購(gòu)需求概況 ： 未來(lái)芯片研究與試驗(yàn)測(cè)試平臺(tái)采購(gòu)深硅刻蝕機(jī)套。該設(shè)備主要采用工藝進(jìn)行深硅刻蝕，在硅晶圓片上實(shí)現(xiàn)高深寬比、高刻蝕速率、高選擇比的干法刻蝕。 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。