晶圓級薄膜沉積系統(tǒng) 項目所在采購意向： 北京理工大學(xué)年至月政府采購意向 采購單位： 北京理工大學(xué) 采購項目名稱： 晶圓級薄膜沉積系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 其他電工、電子生產(chǎn)設(shè)備 采購需求概況 ： 樣品最高加熱溫度高于度，樣品臺射頻偏壓清洗，含兩個射頻源數(shù)量。 預(yù)計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。