電子束沉積系統(tǒng) 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 采購(gòu)項(xiàng)目名稱： 電子束沉積系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： -電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備 采購(gòu)需求概況 ： 電子束蒸鍍系統(tǒng)可用于各類金屬和氧化物的沉積，是制造半導(dǎo)體器件的關(guān)鍵設(shè)備，對(duì)于項(xiàng)目中各類實(shí)驗(yàn)的開展具有至關(guān)重要的作用 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。