高通量模塊化空間潤(rùn)滑薄膜陣列型沉積系統(tǒng) 項(xiàng)目所在采購(gòu)意向： 中國(guó)科學(xué)院蘭州化學(xué)物理研究所年至月政府采購(gòu)意向 采購(gòu)單位： 中國(guó)科學(xué)院蘭州化學(xué)物理研究所 采購(gòu)項(xiàng)目名稱(chēng)： 高通量模塊化空間潤(rùn)滑薄膜陣列型沉積系統(tǒng) 預(yù)算金額： .萬(wàn)元(人民幣) 采購(gòu)品目： 金屬表面處理設(shè)備 采購(gòu)需求概況 ： 擬采購(gòu)的高通量模式化空間潤(rùn)滑薄膜線列型沉積系統(tǒng)可完成小靶源條件下大工件的快速固體潤(rùn)滑處理，并獲得大尺寸復(fù)雜形狀工件的固體潤(rùn)滑處理的實(shí)施工藝，實(shí)現(xiàn)對(duì)大尺寸異形工件的薄膜潤(rùn)滑性能的質(zhì)量管控，滿足空間有效載荷后續(xù)異形工件的固體潤(rùn)滑處理難題。.三腔室，可調(diào)移動(dòng) .極限真空度：優(yōu)于.- 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間： - 備注： 本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。