原位器件級圖案化分子束外延設備 項目所在采購意向： 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所年至月政府采購意向 采購單位： 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所 采購項目名稱： 原位器件級圖案化分子束外延設備 預算金額： .萬元(人民幣) 采購品目： 其他電工、電子生產(chǎn)設備 采購需求概況 ： 本設備用于沉積高精度掩膜 以下的圖形生長，系統(tǒng)集薄膜沉積生長、樣品傳遞及原位監(jiān)測功能于一體，設計生長腔體集成薄膜制備源爐，具備可旋轉(zhuǎn)升溫樣品臺、磁力桿及配套抓手、、、四極質(zhì)譜儀等儀器、橫向安裝的可傾斜的，可滿足圖形化制備，且能達到低溫 功能。本系統(tǒng)包含低溫生長腔、預處理腔、存儲腔、個-源、個裂解源以及一個電子束蒸發(fā)源；各腔室利用（圓形樣品傳樣腔）進行連接，實現(xiàn)自動化傳樣。 預計采購時間： - 備注： 本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關采購公告和采購文件為準。