蘇美達(dá)國(guó)際技術(shù)貿(mào)易有限公司受招標(biāo)人委托對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo),于--在中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式,現(xiàn)邀請(qǐng)合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。
、招標(biāo)條件
項(xiàng)目概況:設(shè)備名稱:多晶硅、硅刻蝕機(jī)
數(shù)量:臺(tái)
設(shè)備原理及用途:
基本原理:在射頻電壓的作用下,溴化氫和氯氣產(chǎn)生的等離子體和多晶硅反應(yīng)生成四氯化硅和溴化硅,溴化氫同時(shí)有側(cè)壁淀積作用,防止側(cè)腐,生成物被抽出腔體,最終達(dá)到刻蝕的目的。
用途:本設(shè)備為全新設(shè)備,主要用于英寸器件各種產(chǎn)品生產(chǎn)中多晶硅導(dǎo)線、硅晶圓標(biāo)記和硅淺槽的刻蝕工藝。
資金到位或資金來源落實(shí)情況:已到位
項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說明:已具備
、招標(biāo)內(nèi)容
招標(biāo)項(xiàng)目編號(hào):-/
招標(biāo)項(xiàng)目名稱:英寸晶圓生產(chǎn)線之多晶硅、硅刻蝕機(jī)
項(xiàng)目實(shí)施地點(diǎn):中國(guó)安徽省
招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):
序號(hào)
產(chǎn)品名稱
數(shù)量
簡(jiǎn)要技術(shù)規(guī)格
備注
多晶硅、硅刻蝕機(jī)
該設(shè)備主要由主控制系統(tǒng),全自動(dòng)傳輸系統(tǒng),個(gè)刻蝕工藝腔,尾氣處理系統(tǒng)以及相應(yīng)的射頻系統(tǒng),氣路系統(tǒng),制冷系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等模塊組成。設(shè)備按照滿配來配置相關(guān)氣管、、電磁閥、μ 和 等,便于未來增加工藝腔體(設(shè)備主體需要至少保留增加個(gè)工藝腔的、、/、等)。其他參數(shù)詳見第八章
無
、投標(biāo)人資格要求
投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績(jī):①投標(biāo)人如為境內(nèi)企業(yè),提供企業(yè)法人營(yíng)業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書,如為境外企業(yè)提供企業(yè)注冊(cè)登記證。
②投標(biāo)人可以是設(shè)備制造廠家,也可以是設(shè)備授權(quán)代理商,代理商需有設(shè)備原廠家的有效授權(quán)書。
③投標(biāo)人開戶行開具的,出具日期在開標(biāo)前三個(gè)月內(nèi)的資信證明原件或該原件的復(fù)印件。
④投標(biāo)人需要具有履行合同所必需的設(shè)備技術(shù)支持和服務(wù)能力(提供相關(guān)證明材料或承諾書,承諾書格式自擬)。
⑤單位負(fù)責(zé)人授權(quán)書原件。
是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受
未領(lǐng)購(gòu)招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以
、招標(biāo)文件的獲取
招標(biāo)文件領(lǐng)購(gòu)開始時(shí)間:--
招標(biāo)文件領(lǐng)購(gòu)結(jié)束時(shí)間:--
是否在線售賣標(biāo)書:否
獲取招標(biāo)文件方式:現(xiàn)場(chǎng)領(lǐng)購(gòu)
招標(biāo)文件領(lǐng)購(gòu)地點(diǎn):蘇美達(dá)大廈....
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